Hiden Analytical
Hiden Analytical
Un sistema UHV per l'analisi delle superfici e il profiling dei film sottili
Uno strumento rivoluzionario per l'analisi delle superfici
Lo strumento Compact SIMS della Hiden è stato progettato per la caratterizzazione facile e veloce delle strutture stratificate, delle contaminazioni e delle impurità superficiali. Lo strumento rileva gli ioni positivi, assistito dal fascio primario di ioni di ossigeno, ed è in grado di discriminare isotopi su tutta la tavola periodica degli elementi. La geometria del cannone di ioni è ottimizzata per essere ideale per ottenere una risoluzione nanometrica in profondità vicino alla superficie.
Un analizzatore SIMS
Quando utilizzato in un sistema SIMS o FIB-SEM, fornisce l'analisi della composizione superficiale e la mappatura degli elementi
EQS è uno spettrometro di massa a quadrupolo ad alta trasmissione per ioni secondari, SIMS. Comprende una sezione elettrostatica a 45 gradi per l'analisi simultanea dell'energia degli ioni. Gli ioni vengono prelevati sull'asse del dispositivo, che lo rende molto popolare come aggiunta a una grande varietà di strumenti per analisi superficiale.
Un sistema UHV per lo studio di TPD (desorbimento termico diretto)
Misura il desorbimento termico diretto di film sottili solidi
La Workstation TDP ha una camera UHV con ingressi multipli e uno stage di riscaldamento del campione accoppiato a un analizzatore ad alta precisione con triplo filtro e un rilevatore/contatore digitale di ioni, per ottenere la migliore sensibilità e risoluzione temporale.
Un sistema per il controllo dell'etching ionico
Rilevamento dell'End Point per i processi di etching ionico e al plasma
Il IMP-EPD è uno spettrometro di massa per ioni secondari molto resistente e con un sistema di pompaggio differenziale per l'analisi degli ioni secondari generati in processi di etching a fascio di ioni. Il sistema comprende un software integrato con specifici algoritmi sviluppati per ottimizzare il controllo del processo.
Sottocategorie
Analisi dei gas
Analizzatori di gas in tempo reale con il più ampio spettro di campi di applicazione
Catalisi e analisi termica
Microreattori automatizzati e combinati con spettrometro di massa per la ricerca sui catalizzatori
Film sottili, plasmi e ingegneria delle superfici
RGA (analisi dei gas residui),analisi degli ioni del plasma, analisi delle superfici e SIMS (spettrometria di massa di ioni secondari) con rilevamento del prodotto finale
Analisi dei gas residui
Analisi di gas e vapori in camere da vuoto e processi
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