Scienza delle superfici

Un sistema UHV di analisi superficiale per la caratterizzazione dei film sottili

Misura la composizione superficiale dei primi pochi nanometri e/o micron di campioni solidi

La Workstation SIMS permette SIMS statico e dinamico ad alte prestazioni per una dettagliata analisi della composizione superficiale e per il profiling in profondità.

Un sistema UHV per l'analisi delle superfici e il profiling dei film sottili

Uno strumento rivoluzionario per l'analisi delle superfici

Lo strumento Compact SIMS della Hiden è stato progettato per la caratterizzazione facile e veloce delle strutture stratificate, delle contaminazioni e delle impurità superficiali. Lo strumento rileva gli ioni positivi, assistito dal fascio primario di ioni di ossigeno, ed è in grado di discriminare isotopi su tutta la tavola periodica degli elementi. La geometria del cannone di ioni è ottimizzata per essere ideale per ottenere una risoluzione nanometrica in profondità vicino alla superficie.

Sistema automatico di analisi delle superfici

Misura la composizione superficiale dei primi nanometri o micrometri di profondità di un campione solido

Il AutoSIMS è un sistema SIMS completo e automatizzato per l'analisi di routine e ripetitiva delle superfici, ideale per le misure di film sottili, contaminazioni e dopaggi dal primo monostrato superficiale fino a molti micron di profondità, in campioni conduttori e isolanti.