Struttura:

- wafer di vetro
- il reticolo è formato da vetro calcogenido
- la superficie superiore del reticolo è di alluminio

Tipo di pattern:

monodirezionale (nelle direzioni X e Y)

Altezza del pattern:

> 55 nm fornisce immagini con un buon contrasto

Geometria:

creste parallele

Periodo:

278 nm (3600 periodi/mm)

Accuratezza

±1nm

Dimensioni:

diametro 12,5 mm,  spessore- 2,5 mm

Area efficace:

diametro centrale: 9 mm.