Come il set di calibrazione TGS1 (che comprende i tre reticoli TGZ1, TGZ2, TGZ3) ma con certificato PTB tracciabile.
Ora is set di reticoli TGS1, che consiste di tre reticoli TGZ1, TGZ2, TGZ3 è disponibile con un certificato PTB tracciabile.
Ordinando il set TGS1 con codice TGS1_PTB otterrete i reticoli con il certificato tracciabile..
I reticoli TGS1_PTB sono misurati con un SPM che è stato prima calibrato usando un set di reticoli certificato PTB.
Procedura di certificazione dei reticoli
Il set di reticoli di calibrazione TGS1_PTB serve per la calibrazione in Z dei microscopi a scansione di sonda e per la misura delle nonlinearità. In confrono con il set TGS1 avrete altezze misurate con una minore incertezza, che vi aiuterà a ottenere scansioni più affidabili dei vostri campioni.
Il set contiene 3 reticoli TGZ1, TGZ2, TGZ3 con gradini di altezza diversa.
Descrizione dei reticoli
| Struttura: | - wafer di silicio - il reticolo è formato sullo strato di SiO2 |
| Tipo di pattern: | monodimensionale (lungo l'asse Z) |
| Altezza del gradino: | TGZ1 - 18.5±1 nm* TGZ2 - 108.5±2 nm* TGZ3 - 535±2.5 nm * |
| Periodo: | 3±0,01µm |
| Dimensioni del chip: | 5x5x0,5mm |
| Area efficace: | quadrato centrale: 3x3mm |
* - la media basata sulla misura in cinque punti di ciascun reticolo con un SPM calibrato con un set TGS1 certificato PTB.