Set di reticoli per la calibrazione in Z di SPM con quattro diversi range di altezza: 20nm, 110nm, 520nm, 1400nm.

Set che contiene quattro reticoli con gradini di altezza diversa TGZ1, TGZ2, TGZ3, TGZ4.

 

 

 

 

 

 

Descrizione dei reticoli

Struttura:	- Wafer di silicio - Il reticolo èformato sullo strato di SiO2
Tipo di pattern:	Monodimensionale (nella direzione dell'asse Z)
Altezza del gradino:	TGZ1 - 21.6±1.5 nm TGZ2 - 107±2 nm TGZ3 - 560±4 nm TGZ4 - 1317±10 nm
Periodo:	3±0,1 µm
Dimensione del chip:	5x5x0.5 mm
Area efficace:	Quadrato centrale 3x3 mm

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Fig.1 Immagine SEM del reticolo TGZ3