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Sorgente di ioni IQP 10/63 |
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Caratteristiche:
- Catodo freddo (tipo Penning) sorgente di un'elevata corrente di sputter
- Corrente ionica fino a 50µA
- Energia degli ioni 0.2 - 6 keV
- Diametro del fascio 10mm - 20mm
- Profilo piatto del fascio
- Senza filamento
Applicazioni:
- Adatta per gas reattivi
- Sputtering su grandi aree e a elevata velocitą
Descrizione del prodotto:
La sorgente di ioni IQP 10/63 č una sorgente a catodo freddo per la rapida pulitura grezza di grandi aree. Ha un profilo del fascio molto piatto e l'intervallo di energie va da 200 eV fino a6
keV. Grazie al progetto senza filamento, non č ovviamente necessario sostituire i filamenti usati. Quindi, la IQP 10/63 č una sorgente economica e allo stesso tempo uno strumento di ricerca facile da usare.
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