Pra.Ma.

• Utilizzabile per scansioni
• Grande area di scansione
• Filamento speciale per una lunga durata e per lavorare con gas reattivi
• Pompaggio differenziale per applicazioni a bassa pressione
• Alimentatore con unità di deflessione e scansione integrata
• Key stone correction for depth profiling at tilted angles
  

Applicazioni:

La sorgente di ioni IQE 12/38 è del tipo a estrattore, con pompaggio differenziale, che produce un fascio di ioni focalizzato, utilizzabile per scansioni e con un'elevata densità di corrente. È una sorgente dedicata con un piccolo spot per profili di profondità, ISS e SIMS.

La IQE 12/38 è montata su una flangia da 2,75" (DN38CF) ruotabile. Funziona con un filamento e ionizza il gas per bombardamento elettronico.

Alla distanza standard tra flangia e campione di 186 mm, che corrisponde a una distanza di lavoro di 23 mm, genera una corrente di fascio fino a 0.8 µA con uno spot di 125 µm.
Il sistema a due lenti della sorgente permette di cambiare facilmente le dimensioni dello spot, che può variare con continuità tra 125 µm e 1000 µm. Pen uno spot di 800 µm la corrente ionica raggiunge 8 µA. La corrispndente densità di corrente è compresa nell'intervallo 1-4 mA/cm², a seconda delle dimensioni dello spot (queste prestazioni sono state dimostrate sul campo e possono essere considerate conservative).