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Sorgente di ioni IQE 11/35 |
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 Caratteristiche:
- Fascio ionico di elevata corrente
- Fascio privo di impurità
- Adatta per gas reattivi, come l'ossigeno
- Profondità di inserzione adattabile a richiesta
- Funzionamento stabile a lungo termine
- Eccellente rapporto prestazioni/prezzo
- Disponibile alternativamente con alimentatore analogico o digitale
Applicazione:
Pulizia sputter di campioni in UHV
Descrizione del prodotto:
La IQE 11/35 è una sorgente di ioni del tipo estrattore molto stabile con uno speciale filamento di lunga durata ricoperto di ossido di ittrio. Essendo una sorgente del tipo estrattore compatta e facile da usare, la IQE 11/35 è adatta per gas sia reattivi sia non reattivi. La sorgente è montata su una flangia da 2,75" (NW35CF) ed è disponibile a scelta con alimentatore analogico o digitale. La IQE 11/35 genera una corrente ionica di 10-15
µA (Argon) e il fascio ha un profilo Gaussiano. Il diametro del fascio (FWHM) e la densità di corrente dipendono dalla distanza fra la sorgente e il campione. La lunghezza di montaggio della sorgente è adattabile alle singole richieste (lo standardè
62.5 mm). Il trasferimento diretto del gas nella zona di ionizzazione funziona con una linea di gas con una flangia Mini-Conflat (NW16CF) integrata. Tipicamente, la pressione nella camera UHV resta nell'intervallo fra 10-5 e 10-6 hPa, durante il funzionamento. La sorgente è riscaldabile fino a 200° C e può essere pulita per "degasaggio" interno.
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La IQE 11/35 vista in sezione.
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