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Filtro di massa di Wien (per sorgenti di ioni) |
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Caratteristiche:
- Alta dispersione ma con dimensioni contenute
- Apertura aggiuntiva per pompaggio differenziale
- Correzione stigmatica e regolazione del fascio
- Riscaldabile fino a 350° C
- Beam blanking
- Installabile sulla sorgente di ioni IQE 12/38
Applicazioni:
Il filtro di massa di Wien WF-IQE viene usato per analisi di profili di profondità SIMS e SNMS in combinazione con la sorgente di ioni per produrre un fascio di ioni puri, libero da particelle neutre. Nei sistemi di analisi di superfici e di film sottili può essere usato come sorgente primaria di ioni per
- analisi SIMS e SNMS dinamiche, soddisfando le specifiche più stringenti
- spettroscopia di dispersione di ioni (ISS)
Descrizione del prodotto:
Per un'accurata analisi dei profili di profondità il fascio di una sorgente di ioni a impatto di elettroni o al plasma deve avere un'elevata purezza ed essere libero da particelle neutre. Questo viene garantito dal filtro di massa di Wien, che elimina gli ioni di isotopi non voluti e le impurità.
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