Sage (ESCA) Stampa E-mail
Sistema interamente computerizzato per l'analisi e il controllo di qualità delle superfici.

Caratteristiche:

  • Analisi delle supefici interamente computerizzata
  • Quantificazione automatica
  • Analisi non distruttiva
  • Posizionamento e controllo esatti del campione

Opzioni:

  • Sorgente di ioni a piccolo spot per profiling di profondità
  • Microscopio ottico per il controllo del campione
  • Flood Gun per la compensazione di carica
  • Sorgente di elettroni con messa a fuoco accurata per AES e SEM/SAM
  • Sorgente ultravioletta per UPS
  • Monocromatore per raggi X
  • Camera di preparazione per processing di superfici
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Applicationi:

  • Determinazione dello spessore degli strati per la produzione di hard disc
  • Controllo della composizione superficiale dei wafer tra diversi passaggi di produzione
  • Analisi della composizione di superfici bioattive
  • Profili di profondità della concentrazione chimica con risoluzione nanometrica
  • Controllo della composizione superficiale dei polimeri
  • Controllo di qualità generale nelle linee di produzione di microelettronica
  • Problemi di adesione alle superfici

Descrizione del prodotto:

Il SAGE è un sistema compatto per impegnative applicazioni di analisi e di controllo di qualità. Permette analisi di routine ESCA qualitative e quantitative interamente automatizzate. Vi offre dettagliate informazioni sulla chimica superficiale e sulle proprietà dei materiali di campioni conduttori e isolanti. Il sistema Sage fornisce informazioni quantitative molto precise e routine di interpretazione rapida dei dati.

 

La famiglia del sistema SAGE ESCA:

Il dimostrato concetto SAGE di analisi ESCA automatizzate è disponibile con diverse configurazioni, compreso l'analizzatore emisferico PHOIBOS can la passibilità di studiare piccole aree e una vasta serie di rivelatori.

Per una panoramica del sistema e per un confronto tecnico, si veda questo documento.

 

 
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Henry J. Tillman

 

 

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