|
Questa guida all'evaporazione rappresenta una panoramica di elementi usati comunemente e delle loro proprietà fisiche che determinano il loro comportamento evaporativo. Sebbene nella preparazione di questa guida siano stati fatti tutti gli sforzi per garantirne accuratezza, completezza e chiarezza, non è garantito che non ci siano errori. Percià, usate queste informazioni a vostro richio come una guida generale. In ogni caso, fate una verifica indipentende dei dati importanti.
Alcuni materiali e i loro composti sono estremamente tossici e devono essere maneggiati con grande cura. Le istruzioni di sicurezza dei produttori devono essere seguite scrupolosamente!
La tabella che segue descrive diversi materiali (principalmente elementi), i tipi di cella di effusione raccomandati, il materiale del crogiuolo da usare, il punto di fusione e i dati della tensione di vapore nel regime HV e UHV.
Material
|
Symbol
|
Recommended source type
|
Crucible
material
|
Melting Point (°C) |
Temperature (°C) for vapor pressure (Torr)
|
10-8
|
10-6
|
10-4 |
Aluminium
|
Al
|
Cold Lip Effusion Cell
|
PBN
|
660
|
685
|
812
|
972
|
Antimony
|
Sb
|
Valved Cracker, Cracker or Low Temp Effusion Cell
|
PBN
|
631
|
279
|
345
|
425
|
| Argon
|
Ar
|
ECR Plasma Source
|
Alumina
|
...
|
...
|
...
|
...
|
Arsenic
|
As |
Valved Cracker, Cracker, Valved or Low Temp Effusion Cell
|
PBN
|
817
|
104
|
150
|
210
|
Barium
|
Ba
|
Low Temp Effusion Cell
|
Ta, Mo
|
727
|
272
|
354
|
462
|
| Beryllium |
Be
|
High Temp Effusion Cell |
BeO, VC |
1287 |
707 |
832 |
997 |
BioMaterials
|
...
|
Near Ambient Effusion Cell
|
Quartz, PBN, Ta, PGR
|
...
|
...
|
...
|
...
|
Bismuth
|
Bi
|
Low Temp Effusion Cell
|
Al2O3, BeO, VC
|
271 |
329
|
409
|
517
|
Boron
|
B
|
High Temp Effusion Cell
|
C, VC
|
2075
|
1282
|
1467
|
1707
|
Cadmium
|
Cd
|
Low Temp Effusion Cell
|
Al2O3, Quartz, PBN
|
321
|
74
|
119
|
177
|
Calcium
|
Ca
|
Low Temp Effusion Cell
|
Al2O3, Quartz, PBN
|
842
|
282
|
357
|
459
|
Carbon
|
C |
Carbon Effusion Cell
|
PGR
|
3550
|
1657
|
1867
|
2136
|
Cerium
|
Ce |
High Temp Effusion Cell
|
Al2O3, BeO, VC
|
795 |
970
|
1150
|
1380
|
Cesium
|
Cs |
Near Ambient or Low Temp Effusion Cell
|
Quartz, PBN
|
29
|
-16
|
22
|
80
|
Chlorine
|
Cl
|
ECR Plasma Source
|
Al2O3
|
...
|
...
|
...
|
...
|
Chromium
|
Cr |
High Temp Effusion Cell
|
VC
|
1907
|
837
|
977
|
1157
|
Cobalt
|
Co |
High Temp Effusion Cell
|
Al2O3, BeO
|
1495
|
922
|
1067
|
1257
|
Copper
|
Cu
|
Single Filament or High Temp Effusion Cell
|
Al2O3, Mo, Ta, BeO
|
1085
|
722
|
852
|
1027
|
Dysprosium
|
Dy
|
High Temp Effusion Cell
|
Ta
|
1412
|
625
|
750
|
900
|
Erbium
|
Er
|
Dual Filament or Single Filament effusion cell
|
PBN, Ta, W
|
1529 |
649
|
777
|
897
|
Europium
|
Eu
|
Low Temp or Dual Filament effusion cell
|
Al2O3, Mo, Ta, PBN
|
822
|
283
|
361
|
466
|
Gallium
|
Ga
|
Dual Filament or Single Filament effusion cell
|
PBN, Al2O3, BeO, Quartz
|
30
|
619
|
742
|
907
|
Germanium
|
Ge
|
Dual Filament or Single Filament effusion cell
|
PBN, Al2O3, Quartz
|
938
|
812
|
947
|
1137
|
| Gold
|
Au
|
Single Filament or High Temp Effusion Cell
|
Al2O3, PBN, VC,
|
1064
|
807
|
947
|
1132
|
Hydrogen
|
H |
Thermal Gas Cracker/ECR Plasma Source or RF Plasma Source
|
...
|
...
|
...
|
...
|
...
|
Indium
|
In
|
Dual Filament effusion cell
|
Al2O3, PBN
|
157
|
488
|
597
|
742
|
Iridium
|
Ir
|
E-Beam Evaporator
|
...
|
2410
|
1850
|
2080
|
2380
|
Iron
|
Fe
|
E-Beam Evaporator or High Temp Effusion Cell
|
Al2O3, BeO
|
1538
|
858
|
998
|
1180
|
Lanthanum
|
La
|
High Temp Effusion Cell
|
Al2O3
|
920
|
990
|
1212
|
1388
|
Lithium
|
Li
|
Low Temp Effusion Cell
|
Al2O3, BeO, PBN
|
180
|
235
|
306
|
404
|
Lutetium
|
Lu
|
High Temp Effusion Cell
|
Al2O3
|
1663
|
870
|
1228
|
1376
|
Magnesium
|
Mg
|
Low Temp Effusion Cell
|
Al2O3, VC, PBN
|
650
|
185
|
246
|
327
|
Manganese
|
Mn
|
Single Filament effusion cell
|
Al2O3, BeO
|
1246
|
505
|
611
|
747
|
Mercury
|
Hg
|
Near Ambient Effusion Cell
|
Al2O3, Quartz, PBN
|
-39
|
72
|
-44
|
7 |
Methane
|
CH4
|
ECR Plasma Source
|
...
|
...
|
...
|
...
|
...
|
| Molybdenum |
Mo |
E-Beam Evaporator |
... |
2610 |
1592 |
1822 |
2117 |
Nickel
|
Ni
|
High Temp Effusion Cell
|
Al2O3, BeO,VC
|
1455
|
927
|
1072
|
1262
|
Niobium
|
Nb
|
E-Beam Evaporator
|
...
|
2468
|
927
|
1072
|
1262
|
Nitrogen
|
N
|
RF Plasma Source
|
PBN
|
...
|
...
|
...
|
...
|
Organics
|
...
|
Near Ambient Effusion Cell
|
Al2O3, Quartz, PBN
|
...
|
...
|
...
|
...
|
Oxygen
|
O
|
ECR Plasma Source
|
Alumina |
...
|
...
|
...
|
...
|
Palladium
|
Pd
|
High Temp Effusion Cell
|
Al2O3, BeO
|
1555
|
842
|
992
|
1192
|
Phosphorus
|
P |
Valved Cracker or Valved effusion cell |
Al2O3, PbN, Ta/Mo
|
44
|
54 |
88 |
192
|
Platinum
|
Pt |
E-Beam Evaporator or High Temp Effusion Cell
|
ThO2, C
|
1768
|
1292
|
1492
|
1747
|
Polymers
|
...
|
Near Ambient Effusion Cell
|
Al2O3
|
...
|
...
|
...
|
...
|
Potassium
|
K |
Low Temp Effusion Cell
|
Al2O3, Quartz, PBN
|
64
|
21 |
65 |
123
|
Rhenium
|
Re |
E-Beam Evaporator |
... |
3180
|
1928
|
2207
|
2570
|
Rhodium
|
Rh |
E-Beam Evaporator
|
...
|
1966
|
1277
|
1472
|
1707
|
Ruthenium
|
Ru |
E-Beam Evaporator
|
...
|
2310
|
1780
|
1990
|
2260
|
Scandium
|
Sc |
Dual Filament or High Temp Effusion Cell
|
Al2O3, BeO
|
1541
|
772 |
917
|
1107 |
Selenium
|
Se
|
Valved Cracker, Cracker or Low Temp Effusion Cell
|
PBN |
221
|
63 |
107 |
164
|
Silicon
|
Si |
E-Beam Evaporator
|
...
|
1414
|
992 |
1147 |
1337
|
| Silver |
Ag |
Single Filament or High Temp Effusion Cell
|
Al2O3, Mo
|
962
|
574 |
685
|
832 |
Sodium
|
Na |
Low Temp Effusion Cell
|
Quartz, PBN
|
98 |
74 |
123 |
193
|
Strontium
|
Sr |
Low Temp Effusion Cell
|
VC, Mo
|
777 |
241 |
309 |
404
|
Sulfur
|
S |
Valved Cracker, Cracker, Valved Effusion Cell
|
PBN
|
115 |
-10
|
17 |
55 |
Tantalum
|
Ta |
E-Beam Evaporator
|
...
|
2996 |
1960
|
2240 |
2590
|
Tellurium
|
Te |
Valved Cracker Effusion Cell
|
PBN |
450
|
155 |
209 |
280
|
Thallium
|
Tl |
Low Temp Effusion Cell
|
Al2O3, Quartz
|
304 |
280 |
360 |
470
|
Thorium
|
Th |
E-Beam Evaporator
|
W, Ta, Mo
|
1845
|
1430 |
1660
|
1925 |
Tin
|
Sn |
Dual Filament or Single Filament effusion cell
|
PBN |
232
|
682 |
807 |
997
|
Titanium
|
Ti |
E-Beam Evaporator
|
...
|
1660 |
1067 |
1235 |
1453
|
Tungsten
|
W |
E-Beam Evaporator
|
... |
3410
|
2117 |
2407 |
2757
|
Vanadium
|
V |
High Temp Effusion Cell or E-Beam Evaporator
|
W, Mo |
1910
|
1162 |
1332 |
1547
|
Ytterbium
|
Yb |
Low Temp Effusion Cell |
Ta |
824 |
247 |
317 |
417
|
Yttrium
|
Y |
High Temp Effusion Cell
|
Al2O3
|
1526 |
957
|
1117 |
1332
|
Zinc
|
Zn |
Low Temp Effusion Cell
|
Al2O3, Quartz, PBN
|
420
|
123 |
177 |
247
|
Zirconium
|
Zr |
E-Beam Evaporator
|
... |
1852
|
1477 |
1702 |
1987
|
Questa guida è stata preparata da Edward Graper della Lebow Corporation ed è stata resa disponibile per assistere i clienti della SPECS. Né Edward Graper né la Lebow Corporation assicurano l'accuratezza di queste informazioni o il risultato della loro applicazione. Questa guida non può essere riprodotta in alcun modo senza il permesso scritto della Lebow Corporation, che normalmente viene concesso.
Alcuni materiali e i loro composti sono estremamente tossici e devono essere maneggiati con grande cura. Le istruzioni di sicurezza dei produttori devono essere seguite scrupolosamente!
Né la Lebow Corporation né la SPECS accettano responsabilità per qualsiasi errato utilizzo di materiali o delle loro applicazioni di evaporazione e deposizione.
|
