Caratteristiche:
- Flangia di montaggio: 2.75" (NW35CF)
- Lunghezza in vuoto: 200 mm
- Diametro in vuoto: 34 mm max.
- Temperatura di cottura (degasaggio): 200°C
- Divergenza del fascio: ∼15° mezzo angolo
- Flusso del gas: 10-5 - 1 sccm
- Pressione di funzionamento: < 10-10 - 10-5 mbar
- Flusso di idrogeno: 5 x 1013 atomi/cm2 a 10 cm di distanza
- Effcienza di Cracking: prossima al 100 %
- Potenza del fascio elettronico: 0 - 60 W
Applicazioni:
- Pulizia in situ senza danni, per esempio di GaAs, InP, Ge e Si.
- Rimozione di ossigeno e carbonio residui per riduzione a idruri volatili
- Pulizia a bassa temperatura
- Surfattante - promuove la crescita 2-D
- Trattamento/miglioramente superficiale post crescita
- Passivazione chimica e ricostruzione superficiale
- Annealing di silicio amorfo
Informazioni sul prodotto:
La SPECS TGC-H è una sorgente gas gracker completamente compatibile UHV che usa il bombardamento elettronico per riscaldare un capillare di tungsteno e dissociare il gas che lo attraversa. L'efficienza di cracking è determinata dall'equilibrio termodinamico ella dissociazione di molecole di idrogeno in atomi. Per temperature del capilare di 1400°C o più e pressioni inferiori a 10-8 mbar, l'efficienza è prossima al 100%. Le piccole dimensioni e massa termica del capillare fanno sì che sia necessaria poca potenza con un carico termico sul sistema trascurabile. Il filamento stesso è facile da sostituire. Inoltre, non è necessario un pompaggio differenziale per il funzionamento in UHV e grazie alla messa a terra del capillare si ottiene un'emissione di ioni nulla.
