Applicazioni:
- Controllo del flusso in processi MBE e PVD
- Valvole di protezione per finestre di osservazione e schermi RHEED
- Usati per creare strutture a strati con interfaccie nette
Destrizione del prodotto:
Le valvole stadard per le celle di effusione sono fatte da una barra di molibdeno che sostiene una diaframma a lama che copre l'orifizio del crogiuolo. Il progetto della valvola assicura un'elevata stabilità della temperatura durante il ciclo di apertura. La valvola può essere azionata manualmente, elettricamente o pneumaticamente, con un passante ad accoppiamento magnetico basato su una flangia DN 16 CF f UHV. Tutti i diaframmi sono fatti di molibdeno, tantalio, PBN o PGR.
Caratteristiche:
Valvole per substrati e celle di effusioneEffusion cell and substrate shutter:
- Integrata nella flangia base della cella di effusione o in versione stand alone
- Operazione con poche vibrazioni
- Movimento rotatorio o lineare
- Scelta di dimensioni, forme e materiali
- Completamente compatibile con UHV
- Funzionamento manuale o automatico
- Facile da usare
|
Shutter pneumatico per cella di effusione
|
|
Shutter per schermo RHEED:
- Shutter azionato con moto rotatorio per proteggere gli schermi RHEED
- Shutter swing type a 90°. copre >80° della finestra
- Per flange CF da 6" o 8"
|
Shutter manuale per schermi
|
|
