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Sorgente di idrogeno atomico (TGC-H) |
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Celle di effusione
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Descrizione del prodotto:
La sorgente di idrogeno atomico HCL viene usata come un frammentatore termico per l'idrogeno. L'idrogeno atomico permette di pulire substrati come Si, GaAs, InP, etc. a bassa temperatura e viene usato anche per la crescita del surfattante. L'idrogeno gassoso (H2) fluisce attraverso un tubo di molibdeno fino a un filamento caldo posto alla fine di questo tubo. Può essere scaldato fino a temperature di 2500° per raggiungere un'eccellente efficienza di frammentazione dell'idrogeno gassoso. Usando una valvola di precisione è possibile regolare direttamente la pressione dell'idrogeno. Con un controllore di flusso di massa, montato fra la bombola di idrogeno e la valvola di perdita, il controllo della pressione può essere reso estremamente accurato.
Dati tecnici:
Standard:
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Type
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HLC
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Heating system
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Radiation heating
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Temperature range
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200°C - 2500°C
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Eemperature stability
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≤ 1 K depending on the PID controller
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Max. outgas temp
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2500°C
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Max. power
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280 W
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Max. current
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25 A
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Water cooling
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Integrated
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Bakeout temperature
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250°C
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Conditioning
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Heated to maximum temperature with and without crucible
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Shipping
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Stainless steel container with valve
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Custom:
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Flange size
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CF 40 / CF 63
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Max outer diameter
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38 mm
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Length
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As specified
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Thermocouple type
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Type C / WRe 5% - 26%
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Options:
Other dimensions
Molybdenum version
Tungsten version
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