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Le celle di effusione sono usate principalmente nei sistemi di preparazione di film sottili, basati sul vuoto ultra alto (UHV), per generare fasci atomici o molecolari estremamente puri partendo da una grande varietà di elementi e composti. I loro maggiori campi di applicazione sono la scienza delle superfici e l'epitassia a fascio molecolare (MBE). In generale, la tensione di vapore e la reattività del materiale determinano il tipo di cella di effusione da usare. Quindi, sono stati sviluppati diversi progetti di cella a seconda del materiale.
Le celle di effusione sono i componenti più cruciali nei sistemi MBE. Il conseguente uso di materiali ultrapuri, così come la rigorosa pulizia e degasaggio di tutte le parti sono uno standard durante i processi di produzione di tutte le celle di effusione della SPECS. Inoltre, le nostre celle di effusione vengono assemblate nelle condizione di una camera pulita di classe 10. In un ambiente UHV dedicato vengono svolti test per verificare che non ci siano perdite, le celle vengono cotte alla massima temperatura con e senza crogiuolo e vengono provate. Questi processi garantiscono il funzionamento e forniscono un'eccellente qualità dei film in tutti i vostri sistemi MBE.
Tutte le celle di effusione disponibili alla SPECS hanno le seguenti caratteristiche:
- Versatilità. Sono adatte per materiali diversi e vari tipi di sistemi MBE
- Progettate su richiesta. Sono disponibili diversi diametri e lunghezze
- Equipaggiate con crogiuoli intercambiabili dedicati al materiale da evaporare
- Unità di controllo adattate appositamente con controllori PID di alta precisione e alimentatori stabili (AC/DC)
- Sono disponibili valvole e sistemi di raffreddamento ad acqua integrati
- Completamente costruite in Germania
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Crescita di film sottili
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Oggigiorno i dispositivi elettronici governano le nostre vite. C'è il bisogno di una continua miniaturizzazione nella produzione e nell'integrazione di micro e nano elettronica, per continuare a soddisfare la legge di Moore. Inoltre, la produzione a basso costo di dispositivi a grande scala, come i moduli fotovoltaici con aree tipiche di un metro quadro, è una sfida per il progresso mondiale del futuro. In entrambi i campi le proprietà fisiche sono determinate dalle interfacce fra i materiali. Per moduli grandi, la minimizzazione del consumo di materiali e delle perdite elettriche porta allo sviluppo di dispositivi a film sottile, in molti casi prodotti usando metodi di deposizione non epitassiale.
La deposizione di film sottili comprende ogni tecnica per depositare un sottile strato di materiale su un materiale bulk o su un substrato sottile. Le leghe elementari o i film di composti sono prodotti con deposizione o co-deposizione non-reattiva o reattiva. Spesso è necessaria la funzionalizzazione delle interfacce del dispositivo...
Usando sinergie nella sua rete di competenze, la SPECS offre consulenze e progetto di soluzioni complete e personalizzate er la preparazione o la deposizione di film sottili per tutte le applicazioni di deposizione chimica o fisica. È possibile realizzare anche l'integrazione con tecniche di analisi allo stato dell'arte. La SPECS offre singoli componenti per la deposizione di film sottili e la modificazione delle superfici robusti, altamente affidabili e precisi:
- Evaporatori a fascio di elettroni singoli (EBE-1) e multi tasca (EBE-4) per la deposizione di film sottili di metalli e composti con la più elevata purezza. Le sorgenti possono essere usate con barre e crogiuoli in qualsiasi configurazione necessaria e migliorati con una grande varietà di accessori.
- Risonanza cicloelettronica (ECR) (PCS-ECR e MPS-ECR ) e sorgenti plasma cracker eccitate a radiofrequenza (PCS-RF) per la modifica delle superfici e i trattamenti delle superfici per assistire la deposizione con speci atomiche o ioni inerti o reattivi. Queste sorgenti possoro essere riconfigurate per nuove applicazioni.
- Sorgente gas cracker termico (TGC-H) per i trattamenti superficiali con idrogeno atomico puro.
SPECS is your experienced partner for integrated thin film deposition of advanced device structures.
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MBE
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L'epitassia a fascio molecolare (MBE) è un metodo di deposizione di film sottili che produce film epitassiali (dal Grego, in modo ordinato) omogenei di atomi su un substrato monocristallino. L'aspetto più importante della MBE è il lento tasso di deposizione, che permette una crescita cristallina sul substrato lenta e ordinata. La lenta deposizione richiede un vuoto ultra spinto per raggiungere i più alti livelli di purezza. L'epitassia a fascio molecolare trova applicazione in nanotecnologia e nella produzione di semiconduttori e dispositivi fotonici.
La SPECS vende sul mercato internazionale sistemi MBE prodotti dall'azienda partner CreaTex Fisher & Co., di Erliegheim, in Germania, un produttore di sistemi personalizzati e orientati all'applicazione e di componenti per UHV e MBE. Con molti anni di esperienza nella costruzione e nel progetto di impianti UHV, CreaTec è nota per la sua capacità di soddisfare anche le più difficili richieste dei clienti.
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LEED
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La diffrazione di elettroni a bassa energia (LEED) è uno dei metodi più potenti per determinare le strutture superficiali. Le analisi di pattern e intensità LEED forniscono le dimensioni e la forma di una cella unitaria della superficie, il grado di ordine e la struttura atomica dettagliata con una precisione dell'ordine di pochi picometri. Per sfruttare tutta la potenza della tecnica è necessaria una strumentazione altrettanto capace. I sistemi LEED della SPECS, insieme a sistemi di acquisizione e soluzioni di analisi altamente sofisticati, forniscono ai ricercatori molti vantaggi che non sono presenti in alcuna altra unità commerciale.
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LEEM/PEEM
( 1 articoli )
FE-LEEM P90
Caratteristiche:
- Risoluzione di 5 nm
- Riflettore magnetico a 90°
- Emettitore di campo freddo
- Rapida commutazione LEED/LEEM
- Rapida sostituzione dei campioni
Descrizione del prodotto:
Il FE-LEEM P90 è un microscopio elettronico a bassa energia della nuova generazione con una risoluzione imbattuta di 5 nm, per gli esperimenti di microscopia LEEM. Con questo strumento, sviluppato dal progetto del dr Rudolf Tromp, è possibile osservare in tempo reale processi che avvengono sulle superfici.
Lo scopo guida nel progetto del FE-LeEM P90 era quello di raggiungere una risoluzione estremamente elevata con il minimo numero di elementi elettroottici. Per questo, gli elettroni in ingresso e in uscita sono separati da una matrice di prismi magnetici a 90°. Questa geometria permette una regolazione semplice e intuitiva di tutti i parametri delle lenti. Il prisma magnetico trasferisce sia l'immagine LEEM e il pattern LEED senza astigmatismo, permettendo di passare rapidamente dall'immagine reale alla diffrazione. Sia l'immagine che il pattern LEED vengono trasferiti senza effetti negativi sulla dispersione cromatica, offrendo immagini e capacità di studio della diffrazione superiori.
Un sofisticato filtro di energia permette di ottenere imagini con una risoluzione in enegria fino a 250meV con un effetto minimo sulla alta risoluzioene spaziale dello strumento.
Il FE-LEEM P90 è integrato in una camera di analisi dei campioni UHV LEEM, con i dispositivi per la preparazione in sito dei campioni e il loro processing ad alta temperatura.
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Strumentazione per microscopia a scansione di sonda (SPM)
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Poiché la microscopia a scansione di sonda è una tecnologia chiave per la nanotecnologia, la SPECS offre soluzioni dedicate per requisiti molto impegnativi:
Il robusto STM 150 Aarhus per microscopia a effetto tunnel (STM) a temperatura variabile) e il microscopio a scansione di sonda a bassa temperatura della CreaTec, entrambe soluzioni per la manipolazione atomica e molecolare e per la spettroscopia alla temperatura dell'elio liquido.
Soluzioni versatili, specialmente con la necessità di una microscopia a forza atomica con temperatura variabile del cantilever, possono essere offerte nell'ambito della collaborazione strategica con RHK Technologies.
Grazie a questi strumenti, sviluppati in collaborazione continua con ricercatori chiave, la SPECS garantisce possibilità di ricerca SPM dedicate nel campo della nanotecnologia.
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Sorgenti
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Sorgenti a eccitazione
Facili da usare, sicure e compatibili
Ai nostri clienti accademici e industriali offriamo varie sorgenti per deposizione, eccitazione, neutralizzazione di cariche, così come analizzatori e monocromatori. La maggior parte delle nostre sorgenti ha origine da linee di prodotti che abbiamo acquisito dalla Leybold AG, a Colonia, e dalla VSI GmbH. Il monocromatore per raggi X Focus 500 e il monocromatore per UV TMM300 sono stati sviluppati dalla SPECS
L'aderenza agli standard industriali, un buon rapporto prezzo-prestazioni, la stabilità e la longevità sono le linee guida dello sviluppo dei nostri prodotti. Ci concentriamo su un utilizzo facile e standardizzato, su interfacce software standardizzate e sulla sicurezza.
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Sistemi per l'analise di superfici
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Sistemi specializzati & personalizzati per l'analisi di superfici
SPECS è specializzata nello sviluppo e nella produzione di sistemi personalizzati UHV per l'analisi di superfici. Per lo sviluppo e la costruzione di questi sistemi di ricerca altamente personalizzati, SPECS collabora da vicino con aziende partner nella Rete di Eccellenza. Combinando la conoscenza di esperti partner come BESTEC, CREATEC e Surface Concept, offriamo soluzioni complete come beamline di sincrotroni con stazione finale, offrendo dotazioni per la preparazione in-situ dei campioni (usando MBE, PLD e tecniche di sputtering) e per l'analisi con vari metodi, come XPS, UPS, ISS, AES, LEED, LEEM/PEEM, STM e altri.
Una selezione di possibili applicazioni comprende:
- Creazione di film sottili epitassiali
- OLED
- Analisi di strutture elettroniche
- Mappatura di bande elettroniche
- Mappatura superficiale con risoluzione atomica
- Processi di crescita atomica e catalitici su superfici a diverse temperature
- Studi in-situ di processi superficiali dinamici, crescita e strutture.
SPECS offre inoltre soluzioni compatte come i sistemi ESCA e SAGE e il sistema SNMS INA-X per il controllo della composizione superficiale dei wafer, la profilometria profonda delle concentrazioni chimiche e verifiche di composizione superficiale di polimeri.
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Spettrometri elettronici
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Una nuova generazione di Analizzatori emisferici di energia per spettroscopia ionica ed elettronica
La nanotecnologia è concentrata sull'ingegneria e le proprietà fisiche di strutture piccole tra 1 e 100 nm. Sono quindi necessarie tecniche che abbiano sensibilità a una scala tra 0,1 e 100 nm per studiare e creare queste strutture. Diversi metodi di spettroscopia elettronica (XPS, UPS e AES) sono sensibili nell'intervallo 1-10 e sono quindi tecniche chiave nelle nanoscienze. Grazie alla nostra notevole esperienza nelle ottiche per elettroni e in elettronica, possiamo offrire spettrometri elettronici con la risoluzione e la trasmissione più elevate.
SPECS offre due tipi di spettrometri elettronici:
- L'analizzatore emisferico di energia PHOIBOS
- Lo spettrometro EELS ad alta risoluzione Delta 0.5
Approcci e soluzioni tecniche nuovi sono alla base del successo senza confronti della nostra serie di analizzatori PHOIBOS. Fin dal suo lancio nel 2005, il PHIBOS è stato venduto in 150 laboratori nel mondo e la domanda è in continua crescita. Una grande lista di pubblicazioni scientifiche testimonia gli impressionanti risultati che i ricercatori ottengono con questo analizzatore. Il PHOIBOS è il primo analizzatore al mondo in termini di risoluzione di energia, trasmissione e versatilità.
SPECS è ai confini della technologia anche con il suo spettrometro elettronico a perdita di energia (EELS) ad alta risoluzione Delta 0.5, progettato dal prof Harald Ibach, Institut für renzflächenforschung, KFA Jülich. Con il suo speciale progetto, il Delta 0.5 raggiunge una risoluzione di 0,5meV.
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