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Cella di effusione Cracker (CRC) |
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Celle di effusione
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Descrizione del prodotto:
As, S, Sb e Se evaporano tipicamente come molecole, quando si usa una cella di effusione standard. Per migliorare la qualità degli epistrati può essere utile spezzare queste molecole. Uno speciale sistema di riscaldamento attaccato all'uscita della cella di effusione a bassa temperatura spezza queste molecole a temperature molto più elevate di quella di evaporazione. Speciali isolanti vengono usati per minimizzare lo scambio tra i due sistemi di riscaldamento.
Applicazioni:
| Materiale |
Simbolo
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Crogiuolo
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Punto di fusione
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Temperatura (°C) per tensione di vapore (Torr)
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| Antimonio |
Sb
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PBN
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631
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279
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345
|
425
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| Arsenico |
As
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PBN |
817
|
104
|
150
|
210
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Fosforo
|
P
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PBN, Al2O3,
Ta, Mo
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44 |
54
|
88
|
192
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| Selenio |
Se
|
PBN
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221 |
63
|
107
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164
|
Zolfo
|
S
|
PBN |
115 |
-10
|
17
|
55
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| Tellurio |
Te
|
PBN |
450
|
155
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209
|
280
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Dati tecnici:
| Standard : |
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Tipo
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CRC
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Sistema di riscaldamento
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Riscaldamento radiativo, fili di tantalio con isolanti in PBN
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Range di temperatura
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100°C - 800°C zona di evaporazione
100°C - 1000°C cracker
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Stabilità della Temperatura
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≤ 0.1K a seconda del PID
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Max. outgas temp
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1200°C Cella senza crogiuolo
800°C - 1200°C a seconda del crogiuolo
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Potenza max.
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220 W zona di evaporazione
180 W cracker
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Corrente max.
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8 A zona di evaporazione
9 A cracker
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Temperatura di cottura
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250°C
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Condizionamento
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Scaldata alla massima temperatura, con e senza crogiuolo |
Spedizione
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Contenitore di acciaio inossidabile con valvola riempito di azoto |
| Custom: |
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Flangia
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CF 40/CF 63
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Diametro esterno massimo
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38 mm
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Lunghezza
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As specified
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Termocoppia
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Due termocoppie indipendenti tipo C/WRe
5% - 26% (o secondo specifica)
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Materiale del crogiuolo
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PBN / PGR / W / Ta / quarzo
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Capacità del crogiuolo
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5 - 39 ccm (o a richiesta)
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Opzionis:
Versione in molibdeno
Crogiuoli con inserti
Osservazione dall'alto
Shutter integrato
Raffreddamento ad acqua
Dimensioni diverse
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