Caratteristiche:
- Compatibile con UHV (pressione raggiungibile nella camera di crescita migliore di 5x10-11)
- Elevata precisione e standard di qualità (prodotto in Germania)
- Facile da usare
- Tecnologia allo stato dell'arte (temperatura del substrato e uniformità dello spessore del film superiore a +/-1%)
- Pronto all'uso dopo l'installazione
Applicazioni:
Preparazione di film epitassiali (semiconduttori, metalli, dielettrici e composti organici) su wafer da 1" o 2" per varie applicazioni scientifiche.
Descrizione del prodotto:
RS-2
è un sistema MBE completo basato su due camere - una camera di crescita e una campera load-lock, con la possibilità di montare ulteriori camere.