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Sistema per la deposizione di strati organici (OLED) |
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Caratteristiche:
- Campatto, facile da usare, multifunzionale
- 4-8 celle di effusione NATC (quasi a temperatura ambientale) con un rivoluzionario sistema di riscaldamento, per una stabilità e uniformità assolute della temperatura
- Sistema di controllo automatico per la deposizione su più wafer
- Controllo del flusso del fasco molto accurato attraverso anelli fuzzy logic
- Manipolatore del substrato riscaldabile e rotante
- Per substrati da 1” o 2”
Applicazioni:
- Sistema da vuoto completo per composti organici, polimeri e biomateriali
- Co-deposizione di più
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