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Sistemi di approccio
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SPM intercambiabile
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Basamento intercambiabile per testa di misura SPM che permette l'installazione di un obiettivo.
Stadio manuale X,Y per posizionare la testa di misura relativamente all'obiettivo. Range di posizionamento 5x5 mm. Stadio manuale X, Y per il posizionamento del campione nel range 5x5 mm, risoluzione leggibile di 5 um,
sensibilità di 2 um.
Stadio di scansione X,Y del campione. Scansione da 50x50 (+/-10%)um. Funzionamento ad anello chiuso con i sensori capacitivi.
Specchio regolabile per le ottiche CCD04o, CCD05o. Scanner in Z per il posizionamento dell'obiettivo, range 100mkm.
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