Pra.Ma.

TGT1

Il reticolo di test TGT1 serve per la visualizzazione tridimensionale della punta di scansione, per la determinazione dei parametri geometridi della punta, per il controllo del degrado e delle contaminazioni della punta.

TGT1

Image courtesy Dr.John Mamin, IBM Research Division

Test Grating TGT1

Test grating TGT1 is intended for:
- for 3-D visualization of the scanning tip;
- determination of tip sharpness parameters (aspect ratio and curvature radius), tip degradation and contamination control.

Grating description
Structure:	the grating is formed on Si wafer top surface
Pattern types:	array of sharp tips
Tip angle:	about 50 degrees
Tip curvature radius:	≤10nm
Period:	3±0,05µm
Diagonal period:	2,12µm
Chip size:	5x5x0,5mm
Effective area:	central square 2x2mm
Height, h:	0,3-0,5µm

Fig.1 SEM images of TGT1 grating
Images courtesy Dr.John Mamin,
IBM Research Division

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