Pra.Ma.

TGS1

Set di reticoli per la calibrazione di SPM lungo l'asse Z con tre diversi range di altezza: 20nm, 100nm, 500m.

TGS1

Grating set TGS1

Calibration grating set TGS1 is intended for Z-axis calibration of scanning probe microscopes and nonlinearity measurements.
Grating set contains 3 grating TGZ1, TGZ2, TGZ3 with different step heights.

Grating description
Structure:	- Si wafer - the grating is formed on the layer of SiO2
Pattern types:	1- Dimensional (in Z-axis direction)
Step height:	TGZ1 - 18,5±1nm TGZ2 - 108,5±2nm TGZ3 - 535±4nm
Period:	3±0,1µm
Chip size:	5x5x0,5mm
Effective area:	central square 3x3mm

Fig.1 SEM photo of TGZ3 grating

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Se non sei parte della soluzione, allora sei parte del precipitato

Henry J. Tillman

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