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Sistema SPM universale NTEGRA Prima |
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 NTEGRA Prima è un microscopio a scansione di sonda (SPM) multifunzionale; comprende un obiettivo appositamente progettato che permette di riprendere immagini del campione con uno zoom continuo nel range mm - Ǻ.
- È equipaggiato con uno scanner sostituibile con sensori capacitivi integrati. È possibile ottenere una scansione di 100x100x12 µm.
- Non-linearità XY: 0,05% del valore di picco-picco per 2, dopo la correzione.
- La ripetibilità posizionale nel piano X-Y viene mantenuta con un'accuratezza di 10-20 nm su tutta la dimensione della scansione.
- Il modo DualScan viene ottenuto con l'uso di uno scanner inferiore sostituibile (100x100x12 µm) e un altro (100x100x10 µm) scanner superiore, raggiungendo una scansione totale di 200x200x22 µm.
- Il controller PNL e le parti meccaniche del PNL NTEGRA possono operare ad alta frequenza, fino a 5 MHZ. Questo rende possibile usare is sistema sia per applicazioni AFAM sia con cantilever ad alta frequenza.
- Questo sistema può essere usato nello studio dei materiali ad alta resistenza, come gli strati dielettrici sottili sui semiconduttori, i DLC, i film piezoelettrici, i polimeri conduttori, etc.
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