| Piattaforma NTEGRA |
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Un PNL NTEGRA è un sistema di misura esclusivo che funziona a risoluzione nanometrica e comprende:
Il PNL NTEGRA permette di implementare più di 40 tecniche di microscopia a scansione di sonda, compresa la microscopia acustica a forza atomica, per misure locali del modulo di Young, misure di correnti di femtoampere, nanolitografia con risoluzione fino a 10 nm. Il PNL NTEGRA è equipaggiato con un sistema speciale di controllo della temperatura che rende possibile compiere misure sul campione fra -30°C e 300°C (con una deriva termica inferiore a 10 nm/°C nell'intervallo tra -30°C e 200°C). Il PNL NTEGRA può essere usato in tre modi di scansione: per campione, per sonda e in DualScanTM (scansione simultanea per campione e per sonda). Questo permette ai ricercatori di risolvere vari problemi: misure con risoluzione atomica/molecolare, osservazione di grandi campioni e di grandi aree (fino a 200x200 micron), studio di campioni con strutture superficiali in rilievo complesse (fino a 16 microd tra valle e picco). Gli scanner equipaggiati con sensori capacitivi a basso rumore possono fornire misure lineari con un'accuratezza fino al 0,4%. Il controller PNL permette di misurare segnali a larga banda (fino a 5 MHz). Questo rende possibile usare tecniche come la microscopia atomica a forza acustica (per determinare il modulo di Young locale, per esempio). |
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