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Il nanomisuratore di durezza è particolarmente adatto per misure di carico e di profondità di penetrazione a scala nanometrica. Il nanomisuratore di durezza può essere usato nell'analisi di film di copertura (coating) organici e inorganici, morbidi e duri. Alcuni esempi sono i PVD sottili e multistrato, CVD, PECVD, fotoresist, vernici, lacche e molti altri tipi di film, che riguardano applicazioni in ottica, microelettronica, decorative e altre ancora. I substrati possono essere morbidi o duri e comprendono le leghe metalliche, i semiconduttori, il vetro e materiali refrattari e organici.
Caratteristiche
- Sistema di riferimento brevettato
- Ispezione al microscopio ottico automatizzata, prima e dopo il test
- Attuatori di forza controllati a retroazione
- Misure differenziali capacitive della profondità di indentazione
- Pacchetto software per automatizzare l'acquisizione, il salvataggio e l'analisi dei dati
Opzioni
- Controllo del vuoto e dei valori climatici
- Microscopio a forza atomica
- Telecamera ad alta risoluzione
- Cabina per il controllo ambientale
- Tavolo di movimentazione X & Y ad alta risoluzione (precisione di 0.25um)
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