Gli strumenti per l'analisi della durezza della CSM vengono utilizzati per la determinazione delle proprietà meccaniche di film sottilli e di campione massivi (bulk). Proprietà come la durezza e il modulo elastico possono essere determinate per qualsiasi tipo di materiale, soffice, duro, fragile o duttile. È possibile determinare la durezza di inculsioni, segregazioni bordo grano, etc.
Il principio di funzionamento è il seguente: la punta di un punzone, viene spinta nel campione perpendicolarmente alla superficie applicando un carico crescente fino al valore predefinito. Il carico viene poi diminuito fino a quando si ottiene un rilassamento parziale o completo del materiale. La risultante curva carico/profondità è quindi usata per calcolare le proprietà meccaniche, quali la durezza e il modulo elastico o di Young.
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Il micromisuratore di durezza è particolarmente adatto a misurare ricoprimenti sottili, duri e morbidi, e materiali grezzi. Fornisce valori accurati e riproducibili della durezza e del modulo elastico di un materiale.
Il micromisuratore di durezza può essere usato per materiali grezzi e coating come PVD e CVD, ricoprimenti duri e strati ceramici superficiali.
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Il nanomisuratore di durezza è particolarmente adatto per misure di carico e di profondità di penetrazione a scala nanometrica. Il nanomisuratore di durezza può essere usato nell'analisi di film di copertura (coating) organici e inorganici, morbidi e duri. Alcuni esempi sono i PVD sottili e multistrato, CVD, PECVD, fotoresist, vernici, lacche e molti altri tipi di film, che riguardano applicazioni in ottica, microelettronica, decorative e altre ancora. I substrati possono essere morbidi o duri e comprendono le leghe metalliche, i semiconduttori, il vetro e materiali refrattari e organici.
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Il nanomisuratore di durezza Ultra Nano Hardness è il più accurato in commercio.
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