Il reticolo di calibrazione TGQ1 serve per:
- calibrazione simultanea in X, Y eZ;
- calibrazione laterale di scanner SPM;
- rilevazione di non linearità, isteresi, creep ed effetti di cross coupling.
Descrizione del reticolo
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Struttura |
- wafer di silicio |
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Tipo di pattern |
griglia tridimensionale di piccoli rettangoli |
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Periodo |
3.0±0,05 µm |
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Altezza |
20nm ±1,5 nm* |
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Dimensioni del lato del rettangolo: |
1,5±0,35 µm |
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Dimensioni del chip |
5x5x0,5 mm |
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Area efficace |
quadrato centrale: 3x3 mm |
* alezza media basata sulla misura di cinque reticoli (su una produzione di 300) con un SPM calibrato da PTB con un reticolo certificato TGZ1. L'altezza del gradino base può variare dal valore specificato entro ±10% (per esempio l'altezza del gradino potrebbe essere pari a 22±1.5nm)
Fig.1 Immagine SPM del reticolo di calibrazione TGQ1