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Tecnica di deposizione

Le sorgenti di evaporazione di tipo termico sono usate di solito per semplici processi di deposizione di film sottili. Il materiale da evaporare viene posizionato su una "barca" conduttrice oppure su un crogiolo montato su una bobina resistiva. La barca o la bobina vengono scaldate da una corrente elettrica. Man mano che la temperatura sale, il materiale inizia a evaporare. La temperatura, e quindi il tasso di evaporazione del materiale, viene controllata tramite la corrente applicata.

Un vantaggio importante dell'evaporazione termica è che non sono necessari gas di processo ed è quindi possibile lavorare in condizioni di ultravuoto, incorporando quindi pochissime impurità nei film depositati.

TES – Sorgente di evaporazione termica

La sorgente TES di Korvus può essere rimossa facilmente per cambiare il materiale. La "barca" e il filamento possono anche essere sostituiti rapidamente. 

Le sorgenti TES sono disponibili come sorgente singola per flangia o come unità con due sorgenti. Opzionalmente, è possibile montare una termocoppia per monitorare la temperatura della barca. Ciascuna sorgente puo essere equipaggiata con uno shutter manuale o automatizzato. In un sistema è possibile montare fino a cinque sorgenti singole (o dieci duali). Le sorgenti possono essere utilizzate anche in unione con altre tecniche, come lo sputtering o la deposizione a fascio elettronico.

Specifiche tecniche

TES - Evaporatore termico  
Volume della barca 1cc to 5cc
Range di temperatura 50-2200°C (a seconda del materiale)
Monitoraggio del flusso DC, 600W (1.5Kw opzionale)