ESPion

Una sonda di Langmuir avanzata per la diagnostica dei plasmi

Misura le proprietà elettriche di un plasma a bassa pressione

Il monitoraggio delle caratteristiche I-V di un plasma mediate la sonda ESPion fornisce informazioni dirette riguardo la stabilità e riproducibilità del plasma. L'estrapolazione in tempo reale dei parametri del plasma fornisce informazioni dettagliate sulle proprietà del plasma, da utilizzare nella caratterizzazione e nel controllo dell'uniformità.

Sommario

Il sistema ESPion utilizza come modelli di analisi del plasma il Orbital Motion Limited (OML) e il Allen Boyd Reynolds (ABR).

Il sistema di movimentazione in Z automatico della Hiden fornisce misure in tutto il volume del plasma con risoluzione spaziale. E` disponibile nelle misure standard di 300, 600 e 900 mm.

- 15 scans per sec acquisition rate with D-O-E interface for auto, semi or manual analyses

- Hiden pioneers in passive RF compensation

- ESPion has the highest blocking impedance of any commercially available unit

- 4.25MOhm at 13.56 MHz cf. 100kOhm

- Gas cooled multi-inductor chain for high temperature plasma operation

- Gas cooled multi-inductor chain is user replaceable for tuning to other frequencies

- Reference probe compensates for low frequency effects

- e.g. shift in the plasma potential (e.g. anodised chamber walls) or noise (e.g. power supply)

- ESPion the fastest pulsed plasma specifications of any commercial probe

- ESPsoft contains all necessary gating circuitry as standard

- 300, 600 or 915mm auto linear drive options

- Interlocked isolation valve, 90° probes, combined linear – rotary drives options available

- Self-cleaning cycle to limit probe tip contamination

- ESPsoft control via RS232, RS485 or Ethernet LAN

The system is supplied with ESPionSoft software.

This Windows 8 compatible software allows control of the instrument via USB 2.0, RS232 or Ethernet. Provides comprehensive I/O for data output and for reading data from external devices for integration and display with Langmuir probe data.

Caratteristiche

  • Velocità di 15 scansioni per secondo con l'interfaccia D-O-E per analisi automatiche, semi o manuali.
  • Hiden pioneers in passive RF compensation
  • ESPion ha la ma maggiore impedenza di blocco di qualsiasi altra unità disponibile in commercio.
  • 4.25MOhm a 13.56 MHz cf. 100kOhm
  • Catena multi induttore raffreddata a gas per lavorare con plasmi ad alta temperatura.
  • La catena multi induttore raffreddata a gas è sostituibile per lavorare con altre frequenze.
  • La sonda compensa per gli effetti delle basse frequenze, per esempio lo shift nel potenziale del plasma (pareti della camera anodizzate) o rumore (alimentatore).
  • ESPion ha le più veloci specifiche per plasmi pulsati di qualsiasi altro dispositivo in commercio.
  • ESPsoft contiene tutti i necessari circuiti per il gating come standard.
  • Driver lineare automatico opzionale da 300, 600 o 915mm
  • Valvola di isolamento Interlocked, sonde a 90°, disponibili opzioni combinate con driver lineari e rotatori.
  • Ciclo di autopulitura per limitare la contaminazione della punta della sonda.
  • Software di controllo ESPsoft via RS232, RS485 o Ethernet

Specifiche

Tipi di plasma

Per DC, RF, pulsato o ECR

Densità ionica ed elettronica

1014 - 1019 m3

Temperatura elettronica

Fino a 10 eV

Pressione del plasma

Fino a  0.5 mbar

Movimentazione opzionale in Z

300, 600 o 900 mm

 

Brochure

 

ESPION Series - Advanced Langmuir Probes for Plasma Diagnostics (311 KB)