Un analizzatore SIMS/SNMS
Quando utilizzato in sistemi SIMS/SNMS, fornisce la composizione superficiale e la mappa degli elementi
L'analizzatore SIMS a quadrupolo della Hiden è un sistema allo stato dell'arte per la spettrometria di massa a ioni secondari per applicazioni su ioni positivi, negativi e per lo studio di sistemi dinamici.
L'analizzatore MAXIM comprende un filtro integrale di energia per gli ioni con un angolo di accettazione di 30° rispetto all'asse della sonda, un'ottica di estrazione SIMS ad alta trasmissione, triplo filtro di massa, rilevatore in grado di contare gli ioni ed elettronica di controllo.
Overview
The 30° acceptance angle allows the MAXIM to be mounted with its axis parallel to the plane of the sample, leaving a clear view of the sampled area for other light or ion optics. The MAXIM is tolerant of sample charging making it an ideal probe for the analysis of insulators. Also, large acceptance angle allows for wide area imaging.
Features
- Mass range options: 300amu, 500amu or 1000amu
- Detector: Ion counting detector, Positive and Negative ion detection, 107 cps
- Mass filter: Triple filter
- Pole diameter: 9mm
- Bakeout: 250°C
- Ion energy filter: 30° angular acceptance
- Ioniser: Electron bombardment, single filament for SNMS and RGA
Specifications
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Mass range |
300, 510 or 1000 amu |
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Ion analysis |
Positive and negative ions |
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Ion energy analysis |
100 eV |
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Sensitivity |
> 106 counts/second per nanoamp for Aluminium |
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SIMS - Secondary Ion Mass Spectrometry |
Yes |
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Analysis of ions ejected from sample surface |
Yes (primary ions of oxygen, argon or caesium) |
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SNMS - Secondary Neutral Mass Spectrometry |
Yes |
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Analysis of ions ejected from sample surface |
Yes (primary ions of oxygen, argon or caesium) |
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Residual gas analysis mode- RGA |
Leak detection and chamber vacuum analysis |