Per la determinazione della composizione superficiale, l'analisi dei contaminanti e il depth profiling
Gli spettrometri di massa a quadrupolo della Hiden sono utilizzati in applicazioni di vuoto, plasma e analisi superficiale in nanotecnologia.
Sommario
La nanotecnologia è ricerca e sviluppo tecnologico a livello atomico, molecolare e macromolecolare, con lunghezze comprese approssimativamente tra 1 - 100 nanometri, combinata con la possibilità di creare e usare strutture, dispositivi e sistemi che hanno proprietà e funzioni nuove per via delle loro dimensioni e la capacità di controllare o manipolare a scala atomica.
Le applicazioni comprendono:
- Depth profiling SIMS a scala nanometrica per film sottili.
- Caratterizzazione del plasma per il miglioramento dei processi di etching.
- Diagnostica del vuoto/studi di desorbimento programmato in temperatura in microscopi a scansione in UHV.
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