Un sistema per applicazioni scientifiche e di processo ad alta precisione
Misura la pressione parziale di gas residui con precisione ultra elevata e un range di masse estendibile opzionalmente a 1000 AMU
I sistemi HAL 3F RC sono progettati per l'analisi dei gas in applicazioni scientifiche e processi che richiedono elevata precisione.
Sommario
Il triplo filtro a quadrupolo minimizza la contaminazione di ioni non voluti, mentre i filtri RF pre e post lavorano a frequenze diverse da quella del filtro di massa principale. In combinazione con il filtro di massa più lungo e un diametro dei poli di 9mm, si ottiene una risoluzione migliore, elevata sensibilità agli ioni, stabilità per misure di precisione/rapporto e una elevata trasmissione di massa.
Caratteristiche
- Range di massa di 50, 300, 510, 1000 amu, poli in molibdeno con diametri di 6mm e 9 m
- Migliorata risoluzione di massa, elevata trasmissione di massa e stabilita ionica
- Completo controllo dell'energia degli elettroni 0-150 eV per modalità di analisi TIMS
- Disponibile con rilevatori SEM o PIC o opzionalmente in modelli con coppa di Faraday/SEM o coppa di Faraday/PIC
Specifiche
Range di massa |
50, 300, 510, o 1000 amu |
Minima concentrazione rilevabile |
2 x 10-14 mbar |
Sorgente di ioni |
Varie sorgenti a impatto elettronico |
Controllo della sorgente di ioni |
Si |
Emissione elettronica |
Controllabile via software da 1µA a 2mA |
Energia degli elettroni |
Controllabile via software da 0V a 150 eV |
Energia degli ioni |
Controllabile via software da 0V a 10 eV |
Detector |
Coppa di Faraday o moltiplicatore di elettroni |
Flangia di montaggio dell'analizzatore |
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Poli da 6 mm Poli da 9 mm |
DN-63-CF (4.5"/114mm OD Conflat type) DN-100-CF (6"/150mm OD Conflat type) |
Adattatore per poli da 6mm Adattatore per poli da 9mm |
DN-35-CF (2.75”/70mm OD Conflat type) DN-63-CF (4.5”/114mm OD Conflat type) |