Sistema automatico di analisi delle superfici

Misura la composizione superficiale dei primi nanometri o micrometri di profondità di un campione solido

Il AutoSIMS è un sistema SIMS completo e automatizzato per l'analisi di routine e ripetitiva delle superfici, ideale per le misure di film sottili, contaminazioni e dopaggi dal primo monostrato superficiale fino a molti micron di profondità, in campioni conduttori e isolanti.

Sommario

I campioni vengono caricati in un una cassetta modulare e posizionati usando uno stage computerizzato ad alta precisione. La possibilità di memorizzare ricette di analisi permette di utilizzare lo strumento in modo completamente automatico, producendo i risultati sotto forma di foglio elettronico o in altri formati personalizzati. Il cannone ionico a ossigeno fornisce un fascio stabile per poter lavorare in continuazione, notte e giorno, ottenendo spettri superficiali e profili di profondità.

Le analisi da svolgere possono essere definite usando un semplice foglio elettronico, permettendo anche agli utenti meno esperti di svolgere facilmente esperimenti complessi. Sebbene il sistema sia stato progettato per essere usato da tecnici non specialisti, quelli più avanzati possono accedere a tutti i parametri del SIMS. AutoSIMS è quindi un potente strumento di ricerca, capace di fornire una risoluzione che, per il suo costo, non ha eguali.

Caratteristiche

• Analisi SIMS interamente automatizzata, senza bisogno della presenza dell'operatore.
• Ampio portacampioni X-Y
• Cannone a ioni di ossigeno per un'elevata sensibilità
• Portacampione personalizzabile
• Possibilità di specificare i parametri dell'analisi con un foglio elettronico
• Caratterizzazione 3D
• Risoluzione nanometrica in profondità
• Modular servicing for high up-time

Specifiche